帕特谈谈真空泵的种类

2013-03-08

真空泵的众多分类

中国生产真空泵的厂家很多。通过对全球真空泵市场的分析我们可以看出，各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。中国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础，国产真空泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证，有些泵还出口国外，得到国外用户的认可并受到好评，应该说中国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。

1.液环泵

虽然液环泵属于粗真空泵，但在中国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。在国外，液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%，仅次于干泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中国投资建厂或建立销售网络，不断扩大在中国的市场份额。由于液环泵大部分是铸件，加工要求也不高，属劳动密集型产品，所以国产液环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提高效率，降低能耗。

2.滑阀泵

由于滑阀泵比较耐用、可靠，国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，杜绝喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。

3.直联旋片泵

随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。

4.罗茨泵

从国外罗茨泵生产情况来看，国外几家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超过5%，这5家总计才20%，罗茨泵产量不大，但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前，国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场，这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声，彻底解决轴封漏油问题，改进泵的外观质量，提高泵内的光洁度和清洁度。另外，还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz，更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。

目前，国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得到平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。

5.分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。

由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。

上海帕特泵业制造有限公司

2013年03月08日星期五

上海帕特泵业制造有限公司相关系列产品如下，更多详细内容可以点击产品中心查询

1、QBK系列气动隔膜泵 2、DBY系列电动隔膜泵 3、EG系列卧式离心泵 4、VG系列立式离心泵

5、SPG低噪音管道屏蔽泵 6、PTL单级单吸离心泵 7、PTW卧式单级离心泵 8、IH系列标准化工泵

9、IHF氟塑料离心泵 10、VGF系列化工离心泵 11、EGF系列卧式化工泵 12、ZX系列自吸泵

13、WFB无密封自控自吸泵 14、ZB3A不锈钢转子泵 15、JDM机械隔膜计量泵 16、JM机械隔膜计量泵

17、CDL系列轻型立式多级泵 18、CHL卧式多级泵 19、D、DG型卧式多级离心泵 20、CDLK浸入式多级离心泵

21、2X系列旋片真空泵 22、2BV（SKA）水环真空泵 23、QJ系列深井潜水泵 24、WQP系列不锈钢潜水泵

25、FYS耐腐蚀塑料液下泵 26、THY长轴液下泵 27、G型单螺杆泵 28、KCB、2CY系列齿轮输油泵

29、CYZ-A系列自吸离心油泵 30、CQB系列磁力泵 31、CQB-F系列氟塑料磁力泵 32、CQ系列磁力驱动泵