抽除危险气体的罗茨泵（一）

2012-05-17

抽除危险气体的罗茨泵（一）

标准罗茨泵的特性有一定的局限性，尤其是在粗真空范围内:

(1)在气压下进行抽气时压缩比低单级泵的压缩比在压力低于1mbar时其值近于70:1;当在大气压下压缩时其值降低到近于5:1。

(2)过热当对空气的压缩比高于2时泵将发热，因此根据泵的入口压力，一些罗茨泵不得不串联使用，以便使压力范围加大。

2.气冷罗茨真空泵:因为标准罗茨真空泵只有在压缩比低于2的情况下才不过热，所以研制了气体循环冷却的罗茨真空泵，以使其在没有过热的债况下，有尽可能高的压缩比。在这种泵中，一部分气体通过气体冷却器，然后经由特制的侧口进入工作腔。由于气体的进入，所以这种泵的极限压力可达200mbar<单级泵)或20mbar(串联双级泵)。为了获得低于1Ombar的压力，一些泵必须串联使用。

3.多级罗茨真空泵:为了避免一些昂费的罗茨真空泵串联，研制了一种新的三级罗茨真空泵，，这种泵能在压力低于l0mbar到1个大气压范围内工作。

（1）结构在齿轮箱中，由润滑所造成的被抽气体的污染低于3ppm，这取决于工作压力和润滑油的性质。通过增添一些辅助零件，可便污染值降到0.1ppm以下，这些辅助零件可互换到任何罗茨真空泵上，以便把中间中的气体封住，可用沸石捕集或别的吸附材料抽空中间室。

上海帕特泵业制造有限公司

2012年05月17日星期四

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