罗茨真空泵极限真空和抽气速率的测试
2012-05-17
1.极限真空的测试:测试极限真空，是泵在不连接容器的情况下，按规定的条件运转，待泵的温升达到稳定时，从泵的进口附近以真空计测出其稳定的低压强。
测量极限真空采用的真空计，对于罗茨真空泵，按规定采用座式压缩式真空计，且应准确读出一位有效数字来表示。这种真空计必须经具有±10%以上精度的压缩式真空计校准。对于作为粗真空使用的直排大气的罗茨真空泵，可采用管径相等的开口或闭口U型水银真空计，也可采用精度为±1mm单管水银压力表，不管使用哪种真空计，都应尽量靠近泵的吸气口测量，连接用的真空橡胶管应尽可能短，以尽量减少误差。
2.抽气速率的测试:罗茨真空泵的抽气速率测试，因其用途不同而采用不同的测试方法和仪器。按照部标规定，气体流量小于5OTorr·L/s时，应采用低饱和蒸气压液体滴定管流址计，气体流量大于50Torr·L/s时，应采用浮子流量计。
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